日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型

配備了于VAAV的超靈敏加速度傳感器。準(zhǔn)確掌握微小的振動。

高速計算由我們獨(dú)chuang的主動隔振算法執(zhí)行，而振動立即由高精度大功率執(zhí)行器消除。

我們地板側(cè)慷慨地部署了超靈敏的加速度傳感器，并通過前饋控制實(shí)現(xiàn)了世界z高水平的隔振性能。

在保持高性能且高精度的隔振性能而沒有共振現(xiàn)象的同時，還可以在短時間內(nèi)同時衰減由安裝臺的激振力施加的振動。

配備舞臺前饋功能和波形顯示軟件作為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

特點(diǎn)

• 振動傳遞特性無共振。實(shí)現(xiàn)從低頻到高頻的超寬帶隔振。
• 具有6個自由度的高精度位置控制始終可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的隔振性能和位置精度。
• 可以選擇具有高響應(yīng)速度的大流量閥，以應(yīng)對較大的移動負(fù)載。
• 安全可靠的設(shè)計與CE標(biāo)記兼容。（控制器SAC-07）
• 標(biāo)配臺前饋功能和振動波形顯示分析軟件。

用途

• 在半導(dǎo)體制造和檢查設(shè)備中，它被用作對付需要精細(xì)處理的晶片上的振動的對策，并且被用作對付晶片移動臺上的振動的對策。
• 在液晶制造和檢查設(shè)備中，其目的是在龍門架或工作臺顯著移動時快速衰減振動，并立即對其進(jìn)行檢查或糾正，這有助于縮短節(jié)拍時間。
• 在超精密機(jī)床中，它用于消除工作臺上的振動以進(jìn)行精密加工，同時支持大載荷的運(yùn)動。

日本昭和SSC主動隔振裝置VAAV-A標(biāo)準(zhǔn)型