半導體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

發布日期：2024-10-28 瀏覽次數：725

半導體制造過程中曝光過程的控制用紫外線傳感器UV-300K介紹分析

用于生產線的高性能紫外線傳感器由高度耐用的紫外-可見波長轉換玻璃制成
持續監測是否有一定量的光線照射在其上的紫外線傳感器。您可以監控燈泡老化情況和不亮燈情況，并適當管理燈泡更換。
通過反饋燈的光強度變化來穩定光強度。
配備兩種工作模式：光強模式和積分模式。另外，模擬輸出標配電壓1～5V/電流4～20mA。此外，還配備了通過示教設置靈敏度和應答功能。

使用示例

曝光設備
滅菌、殺菌

使用目的

紫外線傳感器廣泛用于多種用途，包括工業過程控制、質量控制、安全改進、效率和環境保護。

半導體制造設備：半導體制造過程中曝光過程的控制
水處理：水殺菌、殺菌過程中紫外線的管理
UV 固化：使用 UV 固化粘合劑進行過程控制
照明：磁粉探傷中紫外光的監測
印刷：驗證紫外線是否正確固化油墨和涂料
空氣凈化：食品工廠等紫外線空氣凈化的光強度控制。
薄膜：表面改性的紫外線管理

放大器本體規格

格式	紫外-300K
運行指示燈	紅色LED（檢測輸出ON時亮起）
測量光量范圍*	UV-T254、UV-T365、UV-L、UV-S [254nm] 0.1 至 30mW/cm2，使用高靈敏度頭時：0.01 至 3mW/cm2 [365nm] 3 至 900mW/cm2，使用高靈敏度頭時光頭：0.3~90mW/cm2 UV-T405 [405nm] 300~9,000mW/cm2
外部示教輸入外部復位輸入	ON：0~1.5V（0V短路電流1mA以下） OFF：開路或4~30V
光量值顯示（相對值）	3位LED 光強模式：0-125% 積分模式：0-200%
檢測輸出應答輸出	NPN集電極開路（DC30V、100mA以下）
模擬輸出	電壓/電流切換 1~5V (0~100%, 6V/125%) 4~20mA (0~100%, 24mA/125%)
檢測輸出閾值設置	通過開關以 1% 為單位進行設置光強度模式：10 至 100% 積分模式：10 至 200%
靈敏度設置	示教（設置為100%值）最小靈敏度、最大靈敏度、零點設置
電纜	0.15mm2 屏蔽7芯橡膠電纜 φ5.5mm x 2m
重復性	±2%FS以下
溫度漂移	0.1%FS/℃以下
使用環境	溫度：-25~+55℃/35~85%RH（不凝露、不結冰）
電源電壓	DC12~24V±10%（紋波P-P10%以下）
響應時間	300ms以下
消耗電流	50mA以下（不包括輸出電流）
大量的	約140克

* 254nm：Oak Manufacturing UV-M02 (UV-25) 365nm：Ushio Inc. UIT-101 (UVD-365PD) 405nm：Oak Manufacturing UV-42

傳感頭規格

格式※	紫外-T405	紫外-T365	紫外-T254	紫外線	紫外光
特征	耐熱			長袖	短袖
監測波長范圍	200~330nm、360~420nm、455~476nm、517~600nm	300~380nm	170~380nm
溫度漂移	-0.3%/℃以下(at254nm) -0.1%/℃以下(at365nm) -0.06%/℃以下(at405nm)	-0.1%/℃以下
使用環境	溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結冰）			溫度：-40~+150℃/ 35~85% RH（不凝露、不結冰）
材料	紫外可見波長轉換玻璃，SUS
配件	M6螺母、墊圈

* UV-T365和UV-T254具有高靈敏度頭UV-T365W和UV-T254W。

導光板規格

格式	紫外光	紫外線F
特征	耐熱	自由剪裁
使用環境	溫度：-40~+300℃/ 35~85% RH（不凝露、不結冰）	溫度：-40~+70℃/ 35~85% RH（無凝露、無凍結）
儲存溫度	-40～+70℃
全長	2m（帶防紫外線管）	2m（前端有1m紫外線防護管）
材料	多組分玻璃，SUS	丙烯酸、聚乙烯、SUS