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兼容Ni、Cr、W、Ti、Al等多種金屬的高規格緊湊型鍍膜機
DC 濺射類別中最小的超緊湊型號。
配備皮拉尼真空計，確保成膜條件的再現性
標準配備手動快門
使用專用的樣品臺和載物臺可以輕松改變 TS 之間的距離。
可以進行鎢涂層，因此也可用于制備高分辨率 SEM 樣品。
將電極膜粘貼到各種設備上
用于反射薄膜生產等。
| 陰極 | φ2英寸直流磁控管/扁平電極 |
| 適用對象 | Au/Pt/Au-Pd/Pt-Pd/Ag/Pd/W/Ni/Mo/Cr/Ti/Al |
| 壓力測量 | 皮拉尼真空計 |
| 壓力控制 | 帶針閥手動控制 |
| 工藝氣體 | 氬氣 |
| 真空泵 | 直聯旋轉泵：20L/min（帶自動泄漏） |
| 腔室尺寸 | 內徑φ90×D90mm（SUS材質） |
| 樣品交換方式 | 前門開閉方式 |
| 尺寸（寬/深/高） | 機身：160/450/290mm 轉速：295.5/156/199.5mm |
| 重量 | 本體：9kg RP：9kg |
