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iwaki泵在半導(dǎo)體和液晶工藝運(yùn)用中的重要性
在清潔條件至關(guān)重要的半導(dǎo)體和液晶工藝中，不得產(chǎn)生或混合顆粒或污染物。易威奇對(duì)此類精細(xì)工藝所需的超純水和化學(xué)溶液的傳輸控制技術(shù)充滿信心。
我們利用豐富的經(jīng)驗(yàn)和專業(yè)知識(shí)來滿足從化學(xué)液體輸送應(yīng)用到各種加工應(yīng)用的各種客戶要求。
解決半導(dǎo)體和液晶領(lǐng)域所需的問題
粒子
在化學(xué)液體轉(zhuǎn)移過程中產(chǎn)生較少顆粒的結(jié)構(gòu)。為超潔凈制造工藝做出貢獻(xiàn)。
污染
高流量泵提高了從晶圓表面去除金屬和有機(jī)污染物的效率。
高溫液體輸送
最高耐液體溫度180度。兼容CARO(SPM)H3PO4等需要高溫液體輸送的化學(xué)液體。
高壓傳輸
可提供最大供氣壓力為 0.7 MPa 的泵。支持各種需要高壓放電的工藝。
耐用性
心臟處的波紋管采用成熟的R型波紋管。可承受高壓放電，壽命長(zhǎng)。
減少停機(jī)時(shí)間
易于維護(hù)的結(jié)構(gòu)無需定期重新擰緊雙頭螺栓。減少停機(jī)時(shí)間。
應(yīng)用領(lǐng)域
化學(xué)品供應(yīng)流程
泵控制器保持流量和壓力恒定。提供穩(wěn)定的化學(xué)品供應(yīng)。
清洗過程
專有的無污染結(jié)構(gòu)最大限度地減少了顆粒的產(chǎn)生。
照片處理
步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)可實(shí)現(xiàn)高精度，再現(xiàn)性為 ±0.3% (FS) 或更小。
化學(xué)機(jī)械研磨工藝
易威木的波紋管泵具有高壓排放能力，可以毫無問題地輸送 CMP 漿料。
氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列
氣動(dòng)波紋管泵FS-H系列
氣動(dòng)波紋管泵FS-N系列
自動(dòng)風(fēng)門 PDA-H1 / PDA-WB / PDA-W
化學(xué)補(bǔ)給泵CFD
光刻膠分配泵PDS-105R
電磁計(jì)量泵EWN-W系列（水質(zhì)控制用）
內(nèi)部液體不可補(bǔ)充的 pH/ORP 傳感器 8000 系列
化學(xué)罐 CT-U (25 – 120L)
